Date : 2019/03/29, Hit : 75
제목    신규 형상측정용 레이저 현미경 설치 운용 안내 - 한국기계연구원
작성자   S.H.Cho
화일   

본 연구실에 신규 형상측정용 산업용 레이저 현미경(공초점)이 설치 운용 중입니다.
제조사 : Keyence (Japan) 제공
스펙 : 측정분해능 5nm (현존 시판장비 중 최상위 모델)
상세한 사항은 홈페이지 참조

본 연구실과 공동연구기관이나 레이저 가공관련 기업에게는 Open Access 예정입니다.
감사합니다.

[한국기계연구원-UST 펨토공정연구실 연구진 일동]

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