UV Femtosecond Laser
세계최고 고품위 펨토초 레이저 시스템

Spectra-Physics (USA)
Solstice
Wavelength 267nm,395nm,790nm
Pulse Width 90 fs
Repetition Rate 5kHz
Energy >0.7mJ / pulse

- 레이저파장: 267nm(DUV), 400nm(UV) (선택가)
- 펄스 폭: < 100 fs (femtosecond,10-15)
- 펄스에너지 : 0.7 mJ/pulse (@5kHz)
- 레이저 파워 : 3.5 W
- 레이저 반복율: 1kHz, 5kHz, 10kHz (선택가능)
- 빔 모드 TEM00

..현 세계 최고 spec. 최초 한국 도입

 



 

Femtosecond Laser
세계 최고 고출력 레이저 시스템

Quantronix
(USA)
Integra I
Wavelength 790nm
Pulse Width 100 fs
Repetition Rate 1kHz
Energy

3.5mJ / pulse, 3.5 W
세계 최고 펄스당 에너지
(상용화 제품중)

 

 

Femtosecond Laser

세계 최고수준 disk 펨토초레이저 시스템

Jenoptik co.
(Germany)
JenLas D2.fs
Wavelength 1025nm,512nm
Pulse Width 400 fs
Repetition Rate 100kHz-300kHz (가변)
Energy

40uJ / pulse, 4W
세계 최고 산업용 fs레이저
(독일 Jenoptik Co. 무상기증)

 





 

Femtosecond Laser

세계 최고수준 펨토초레이저 시스템

AMPLITUDE Systemes Co.
(France)
s-Pulse HR
Wavelength 1030nm,515nm,343nm
Pulse Width 180 fs
Repetition Rate 100kHz-300kHz (가변)
Energy

70uJ / pulse
세계 최고 산업용 fs레이저

   

Femtosecond Laser

세계 최고수준 파이버 펨토초레이저 시스템

AMPLITUDE Systemes Co.
(France)
Satsuma
Wavelength 1030nm,515nm,343nm
Pulse Width 300 fs - 30 ps
Repetition Rate 100kHz-300kHz (가변)
Energy

30 uJ / pulse
세계 최고 산업용 fs레이저

 








 

Femtosecond Fiber Laser

세계 최고수준 파이버 펨토초레이저 시스템

AMPLITUDE Systemes Co.
(France)

Satsuma (Air cooled)
(디스플레이 양산라인 적용모델)

Wavelength 주요 Spec. 비공개
Pulse Width  
Repetition Rate  
Energy


세계 최고 산업용 All Fiber fs레이저


 






 

Femtosecond Laser

세계 최고수준 고출력 펨토초레이저 시스템

Light Conversion Co.
(Lithuania)

Pharos SP (Full Options)

Wavelength 주요 Spec. 비공개 (IR,VIS,UV)
Pulse Width 190fs - 10 ps
Repetition Rate  
Energy


> 1mJ/pulse

(Lightconversion사 무상기증)


 








 

High-Power UV Picosecond Laser

고출력 자외선 피코초 레이저
(InnoSlab 방식)

Edgewave (Germany)

MXp50-3-GM

Wavelength 355 nm
Pulse Width 10 ps
Repetition Rate 1Hz-100kHz (가변)
Energy


80 uJ / pulse
(독일 Edgewave사 무상기증)

 

 

50W 300fs Femtosecond Fiber Laser

세계 최고수준 파이버 펨토초레이저 시스템

AMPLITUDE Systemes Co.
(France)

Satsuma HP3

Wavelength 1030nm
Pulse Width 300fs
Repetition Rate  
Energy


최단펄스 최고출력 All Fiber fs레이저


아시아 지역 최초 설치 운영
 





 

Femtosecond Laser

파이버 펨토초레이저 시스템

  Smart Light (Full Options)
Wavelength 1552, 776, 388nm
Pulse Width 700 fs
Repetition Rate 1Hz-400kHz (가변)
Energy

80 uJ / pulse, 6 W

 



 

All fiber femtosecond laser(ONE Five, Swiss)
All 파이버 펨토초레이저 시스템

Origami 10 XP
Wavelength 1030nm
Pulse Width 311 fs
Repetition Rate 50~1000 kHz
Energy

max. 80 uJ/pulse @ 50 kHz

 




 

All Fiber Pulse Laser

All 파이버 펄스 레이저 시스템

Jenoptik co.
(Germany)
JenLas Fiber ns20 Advanced
Wavelength 1060nm
Pulse Width 2ns - CW (펄스폭제어가능)
Repetition Rate 1Hz-400kHz (가변)
Energy

20 W, Single Mode
산업용 All fiber ns 레이저
(Jenoptik co.Germany.제공)

 

 

Beam delivery system
펨토초 레이저 파이버 딜리버리 시스템
GLOphotonics(France)
Beam delivery system(BDS)

Physical Properties
Fiber length: 5 m
Output beam quality: M2 < 1.3
Gas/Vacuum connection: KF16
Fiber protection: Metallic monocoil
Min. bend radius: 200 mm

Optical Properties
Wavelength: 1030 nm/ 1064 nm
Attenuation: <50 dB/km
Dispersion @ Working wavelength: 1 ps/nm/km ± 0.5
Transmission band: > 200 nm
Input beam requirement: 2.9 mm ± 0.1
Bend loss @ 20 cm bend radius: < 1 dB
 

 
펨토초 초미세 하이브리드 가공 시스템
(기계연 자체 개발)
UV 펨토초 레이저 탑재

Working Area travel 300mm X 300mm
  Repetition 1㎛
주요 스펙

홀 직경 500nm - 50 um
가공정밀도 : 100 nm

 

비열 가공 및 하이브리드 가공 가능. 재료 무의존성
(상세주요스펙: 비공개)

   

차세대 디스플레이 리페어 시스템
(기계연+(주)참엔지니어링 공동개발)
펨토초레이저 5파장 동시발진

적용
대상

AMOLED, Flexible Display, 투명디스플레이,차세대 디스플레이 대응 비열 나노 리페어
 

 

특징

펨토초 대역 DUV,UV,VIS,NIR, IR 파장 동시 발진,조사 가능 (세계 최초)
현재 디스플레이제조사인 국내 S사 양산장비 및 L사 양산장비 보다 High Spec. 일본 Sharp사 양산장비보다 High spec.
(세계 최고 Spec.)

 


현존하는 세계최초 최고수준
의 차세대 디스플레이용 극초단 리페어 시스템
(상세주요스펙: 비공개)

 

 
 
차세대 디스플레이 리페어 시스템
  세계 최초 극초단광자적용
  SPEC 비공개
  AMOLED, 투명, 플레서블 대응 가능
 
(세계 최초 개발)
 



 

멀티 모달 펨토초 레이저
하이브리드 가공광학 모듈

(세계 최초 개발)

 

- 90fs NIR, VIS, DUV 3파장 대응
- 빔 쉐이핑 (원, 사각, 베셀빔, 3D, 가우시안, Flat-Top)
- 실시간 가공특성분석 (Ablation 분광스펙트럼)
- 오토 렌즈 리벌브 (초음파 진동자 장착)

  - 초음파 진동자 하이브리드 모듈 장착
   
 
원천특허 4건 보유
 

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OPA (fs 파장가변장치)
Wavelength tuning range 200~2600nm
Resolution 1nm
   
   
 


 
Stage & Scanner for laser machining
Stage travel 300mm X 300mm
  Repetition 1㎛
Scanner Field size 60mm X 60mm
  Repetition ±1㎛
 



 
산업용 형상 측정 Laser Nano-Micro Scope
Laser confocal microscope
company name Keyence(JAPAN)
Model name VK-X1000
Objectives 5X,10x,20x,50x,100x
측정분해능 5nm
현존 최상위모델
 



 
Fluorescence microscope
Carl Zeiss Axio Observer
Objectives 10,20x,40x,60x,80x,100x
Imaging AxioCam/AxioVision
   
 


 
Optical microscope
Nikon Model No. MM-60
Objectives 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
Imaging CCD (500M pixel)
   
  A

 

SEM (Scanning Electron Microscope)
TOPCON SM-350
   
   
   
 







 
AFM (Atom Force Microscope)
NT-MDT NTEGRA PLATFORM
Res. : 0.2 nm
With Dr.Chang  
Functions AFM,STM,Spectroscopy. Litography, Many-Pass Techniques.
  B  
Optical Confocal Microscope
Carl Zeiss LSM 5 PASCAL
Objectives 10x, 20x, 50x, 100x
Imaging CCD (500M pixel)
   
 

 
UV-Vis Spectrophotometer
Shimadzu UV-2450
Measurement range 190~900nm
Resolution 0.1nm
   
 



 
Incubator / Clean bench
Incubator Thermo Forma, 311 Series
Clean bench n-Biotek, NB-WS2L